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電子級水GB/T 11446.3-2013標(biāo)準(zhǔn)

發(fā)布時間:2020-07-15來源:瀏覽:

1、 范圍
GB/T 11446 的本部分規(guī)定了電子級水的級別、技術(shù)指標(biāo)要求、試驗方法和檢測規(guī)則。
本部分使用與電子和半導(dǎo)體工業(yè)永高純清洗用水。

2、 規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則
GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法
GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機(jī)碳的測試方法
GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法
GB/T 11446.10-2013 電子級水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法

3 、術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1、電子級水 electronic grade water
電子和半導(dǎo)體工藝過程中所用的高純水。

3.2、電阻率 resistivity
在規(guī)定溫度下,1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號ρ表示,單位為歐姆厘米(Ω·cm),純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)。

3.3、全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。

3.4、可溶性硅 soluble silicon
以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽。

3.5、微粒性物質(zhì) granular matter
除氣體外,以非液體分散在水中,并形成非均相混合物的物質(zhì)。

3.6、總有機(jī)碳 total organic carbon;TOC
水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量。包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。

3.7、吸附 absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的現(xiàn)象。

3.8、凝聚 coagulation
在源水中加入某種電解質(zhì)后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和,從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。

3.9、絮凝 flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進(jìn)行,可除去水中更細(xì)的微粒。

3.10、砂濾器 sand filter
用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置。

3.11、活性碳過濾器 activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過濾器,用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過量的殘余氯。
 
3.12、離子交換 ion exchange
一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,該過程中物質(zhì)并無實質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化。

3.13、離子交換樹脂 ion-exchange resin
一種合成的有機(jī)離子交換材料。

3.14、去離子水 deionized water
經(jīng)過離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水

3.15、再生 regeneration
離子交換過程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中,用一定量的化學(xué)試劑通過離子交換樹脂使其恢復(fù)交換能力。

3.16、復(fù)合床 complex bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中,將兩柱串聯(lián),使水依次通過兩個柱而被純化。

3.17、混合床 mixed bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當(dāng)于許多復(fù)合床串聯(lián)使用。

3.18、電滲析 electrodialysis
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一系列小室。水流通過小室時,在電流電場作用下,水中陽離子向陰極方向移動,但不能通過陽膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達(dá)到提純水的目的。

3.19、逆向滲透 reverse osmosis
用半透膜將濃水和淡水隔開,并在弄水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力,則濃水中大部分水透過半透膜而雜質(zhì)仍留在其中,達(dá)到分離提純的目的。

3.20、反滲透膜 reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0.02μm或更小,可用于除去無機(jī)離子、有機(jī)物、細(xì)菌等,使水純化。

3.21、微孔膜濾器 membrane filter
一種平均孔徑(直徑)大于0.01μm的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。

3.22、超過濾 ultrafiltration
一種過濾方法,在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等。

3.23、終端 terminal
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道凈化工藝后,水的出口或使用地點。

3.24、無菌 sterile
不含任何活有機(jī)體(不論是活躍的或休眠的)。

3.25、PH
水溶液中氫離子活度的負(fù)對數(shù)或氫氧根離子活度倒數(shù)的負(fù)對數(shù)。

4 、分類和標(biāo)記

4.1、 分類
電子級水分為四個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級。

4.2、 標(biāo)記
Ⅰ級電子級水標(biāo)記為:EW-Ⅰ。
Ⅱ級電子級水標(biāo)記為:EW-Ⅱ。
Ⅲ級電子級水標(biāo)記為:EW-Ⅲ。
Ⅳ級電子級水標(biāo)記為:EW-Ⅳ。
 
5 、要求
電子級水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1規(guī)定。
表1 電子級水的技術(shù)指標(biāo)

項目

技術(shù)指標(biāo)

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

電阻率(25℃)/MΩ·cm

≥18
(5%時間不低于17)

≥15
(5%時間不低于13)

≥12

≥0.5

全硅/(μg/L)

≤2

≤10

≤50

≤1000

微粒數(shù)/
(個/L)

0.05μm~0.1μm

500

-

-

-

0.1μm~0.2μm

300

-

-

-

0.2μm~0.3μm

50

-

-

-

0.3μm~0.5μm

20

-

-

-

>0.5μm

4

-

-

-

細(xì)菌個數(shù)/(個/mL)

≤0.01

≤0.1

≤10

≤100

銅/(μg/L)

≤0.2

≤1

≤2

≤500

鋅/(μg/L)

≤0.2

≤1

≤5

≤500

鎳/(μg/L)

≤0.1

≤1

≤2

≤500

鈉/(μg/L)

≤0.5

≤2

≤5

≤1000

鉀/(μg/L)

≤0.5

≤2

≤5

≤500

鐵/(μg/L)

≤0.1

-

-

-

鉛/(μg/L)

≤0.1

-

-

-

氟/(μg/L)

≤1

-

-

-

氯/(μg/L)

≤1

≤1

≤10

≤1000

亞硝酸根/(μg/L)

≤1

-

-

-

溴/(μg/L)

≤1

-

-

-

硝酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

磷酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

 
6 、試驗方法

6.1 、電阻率
電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進(jìn)行測定。

6.2、 全硅含量(以二氧化硅計)
電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T 11446.6-2013進(jìn)行測定。

6.3 、微粒數(shù)
電子級水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9-2013進(jìn)行測定。

6.4、 細(xì)菌總數(shù)
電子級水中細(xì)菌總數(shù)按GB/T 11446.10-2013進(jìn)行測定。

6.5、 痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進(jìn)行測定。
 
6.6、 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進(jìn)行測定。

6.7 、總有機(jī)碳含量
電子級水中總有機(jī)碳含量按GB/T 11446.8-2013進(jìn)行測定。

7、 檢驗規(guī)則

7.1、檢驗部門
電子級水的檢驗均應(yīng)在有資質(zhì)的檢驗部門進(jìn)行。

7.2 檢驗分類
電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。

7.3、交收檢驗
7.3.1 、抽驗項目
電子級水中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計)為交收檢驗項目。

7.3.2 、合格判據(jù)
在用水終端采樣,檢驗后檢驗結(jié)果如有一項或一項以上不合格時,應(yīng)再次采樣經(jīng)行檢驗,如仍不合格,則該批不合格,應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。

7.4 、例行檢驗(全檢項目)

7.4.1、 檢驗項目
檢驗項目為表1規(guī)定的全部項目。檢驗順序應(yīng)以不影響后序?qū)嶒灲Y(jié)果的原則進(jìn)行檢驗。

7.4.2、 不合格判定
在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗,檢驗結(jié)果如有不合格項時,應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗,如仍有不合格項時,應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。

7.4.3、 檢驗頻次
例行檢驗至少每年進(jìn)行一次,當(dāng)制水條件發(fā)生變更時也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗。

8 、采樣、貯存、運輸及標(biāo)志

8.1、采樣、貯存、運輸
電子級水的采樣、貯存、運輸應(yīng)符合GB/T 11446.3-2013的規(guī)定。

8.2 、標(biāo)志
在用水終端采樣進(jìn)行檢驗時,水質(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗合格證,合格證應(yīng)包含如下內(nèi)容:

00001. 名稱及級別;

00002. 各項技術(shù)指標(biāo);

00003. 制水單位;

00004. 供水日期;

00005. 檢驗員簽章及檢驗日期。

 

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